真空泵分類(lèi)思維導(dǎo)圖如下:

按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類(lèi)型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。
一、氣體傳輸泵
氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出,借以達(dá)到抽氣目的的真空泵,這種泵基本上有兩種類(lèi)型:
(一)變?nèi)菡婵毡?
利用泵腔容積的周期性變化來(lái)完成吸氣和排氣過(guò)程的一種真空泵,氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復(fù)式及旋片式兩種:
1. 往復(fù)式真空泵:是利用泵腔內(nèi)活塞做往復(fù)式運(yùn)動(dòng),將氣體吸入、壓縮并排出。因此,又稱(chēng)為活塞式真空泵。
2.旋片式真空泵:是利用泵腔內(nèi)活塞做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),將氣體吸入、壓縮并排出。旋轉(zhuǎn)真空泵又有如下幾種形式:
① 油封式真空泵:它是利用油類(lèi)密封各運(yùn)動(dòng)部件之間的間隙,減少有害空間的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置,故又稱(chēng)氣鎮(zhèn)式真空泵。按其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分為如下五種形式。
a.旋片式真空泵:轉(zhuǎn)子以一定的偏心距裝在泵殼內(nèi)并與泵殼內(nèi)表面的固定面靠近,在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個(gè)(或兩個(gè)以上)旋片,當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)旋片能沿其徑向槽往復(fù)滑動(dòng)且與泵殼內(nèi)壁始終接觸,此旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn),可將泵腔分成幾個(gè)可變?nèi)莘e。
b.滑閥式真空泵:在偏心轉(zhuǎn)子外部裝有一個(gè)滑閥,轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)滑閥沿泵殼內(nèi)壁滑動(dòng)和滾動(dòng),滑閥上部的滑閥桿能在可擺動(dòng)的滑閥導(dǎo)軌中滑動(dòng),而泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。
c.定片式真空泵:在泵殼內(nèi)裝有一個(gè)與泵內(nèi)表面靠近的偏心轉(zhuǎn)子,泵殼上裝有一個(gè)始終與轉(zhuǎn)子表面接觸的徑向滑片,當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),滑片能上下滑動(dòng)將泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。
d.余擺線(xiàn)式真空泵:在泵腔內(nèi)偏心裝有一個(gè)型線(xiàn)為余擺線(xiàn)的轉(zhuǎn)子,它沿泵腔內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)并將泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。
e.多室旋片式真空泵:在一個(gè)泵殼內(nèi)并聯(lián)裝有由同一個(gè)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的多個(gè)獨(dú)立工作室的旋片真空泵。
②干式螺桿真空泵:它是一種不用油類(lèi)(或液體)密封的變?nèi)菡婵毡谩?
③液環(huán)式真空泵:帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi),當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí),把液體(通常為水或油)拋向泵殼內(nèi)形成泵殼同心的環(huán)液,環(huán)液同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期性變化的幾個(gè)小容積,故亦稱(chēng)旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩?
水環(huán)式真空泵/液環(huán)真空泵工作原理圖
二、氣體捕集泵
氣體捕集泵是一種是氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上,從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵,有以下幾種型式。
(一)吸附泵:它主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質(zhì))的物理吸附作用來(lái)抽氣的一種捕集式真空泵
(二)吸氣劑泵:它是一種利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種形式。
(三)吸氣劑離子泵:它是使被電離的氣體通過(guò)電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附在有吸氣材料的表面上,以達(dá)到抽氣的目的。它有如下幾種型式。
1.蒸發(fā)離子泵:泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上,以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種真空泵。
2.濺射離子泵:泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來(lái)的吸氣材料上,以實(shí)現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。
(四)低溫泵:利用低溫表面捕集氣體的真空泵。
真空泵分類(lèi)方法二
按其真空度可以分為:粗真空、高真空、超高真空三大類(lèi)。一、粗真空泵
主要用來(lái)抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。廣泛用于食品、紡織、醫(yī)藥、化工等行業(yè)的真空蒸發(fā)、濃縮、浸漬、干燥等工藝過(guò)程中。該型泵具有真空度高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便、工作可靠、維護(hù)方便的特點(diǎn)。
主要用于粗真空、抽氣量大的工藝過(guò)程中。它主要用來(lái)抽除空氣和其它無(wú)腐蝕,不溶于水,含有少量固體顆粒的氣體,以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被廣泛應(yīng)用于機(jī)械、制藥、食品、石油化工等行業(yè)中。
是獲得粗真空的主要真空設(shè)備之一。廣泛應(yīng)用于化工、食品、建材等部門(mén),特別是在真空結(jié)晶、干燥、過(guò)濾、蒸發(fā)等工藝過(guò)程中更為適宜。
無(wú)油(耐腐蝕)立式往復(fù)真空泵是臥式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品,是獲得粗真空的主要設(shè)備。由于采用全密封裝置,實(shí)現(xiàn)了曲軸箱和汽缸的完全隔離;加上活塞環(huán)使用了自潤(rùn)滑材料,便實(shí)現(xiàn)了先進(jìn)的無(wú)油潤(rùn)滑。由于無(wú)污水排放,所以該型真空泵特別適用于化工、醫(yī)藥和食品等行業(yè)的真空蒸餾、真空蒸發(fā)、真空干燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝過(guò)程中。
二、高真空泵
(一)滑閥式真空泵
廣泛應(yīng)用于真空拉晶、真空鍍膜、真空冶金、真空熱處理、真空浸漬、真空干燥、真空蒸餾、真空練泥、航空航天模擬試驗(yàn)等新材料、新技術(shù)、新工藝的生產(chǎn)與研制中。
滑閥真空泵可單獨(dú)使用,也可作為羅茨真空泵、油增壓泵、油擴(kuò)散泵的前級(jí)泵的使用。當(dāng)抽吸對(duì)黑色金屬有腐蝕、對(duì)真空油起化學(xué)反應(yīng)、含大量蒸汽、大量粉塵的氣體時(shí),需附加裝置。優(yōu)點(diǎn):相比旋片式真空泵耐用性要高好幾倍且抽氣速率大,價(jià)格相對(duì)高一點(diǎn)。
用來(lái)抽除密閉容器的氣體的基本設(shè)備之一。它可以單獨(dú)使用,也可作為增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵的前級(jí)泵使用。該型泵廣泛應(yīng)用于冶金、機(jī)械、電子、化工、石油、醫(yī)藥等行業(yè)的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理,真空干燥等工藝過(guò)程中。
(二)旋片式真空泵
具有結(jié)構(gòu)緊湊,體積小,重量輕,噪音低,振動(dòng)小等優(yōu)點(diǎn)。所以,它適用于作擴(kuò)散泵的前級(jí)泵,而且更適用于精密儀器配套和實(shí)驗(yàn)室使用。例如:質(zhì)譜儀器,冰箱流水線(xiàn),真空冷凍干燥機(jī)等。
旋片式真空泵
(三)羅茨真空泵
是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡茫氂星凹?jí)泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi),有較大的抽速,對(duì)被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。主要用于真空機(jī)組的主泵,需要用前級(jí)泵輔助。如:水環(huán)式真空泵,滑閥真空泵,立式無(wú)油真空泵,分子真空泵等。國(guó)內(nèi)最大羅茨真空泵保持紀(jì)錄為20000L/S。
羅茨真空泵
二、超高真空泵
信然噴油/干式螺桿真空泵技術(shù)
結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理,零件種類(lèi)、數(shù)量少,維護(hù)方便。比傳統(tǒng)真空泵節(jié)能明顯。
螺桿轉(zhuǎn)子
精湛的設(shè)計(jì)與制造
精湛的設(shè)計(jì)與制造
轉(zhuǎn)子作G1級(jí)動(dòng)平衡實(shí)驗(yàn),泵運(yùn)行震動(dòng)小
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